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半導(dǎo)體專用氫氣發(fā)生器(CVD,MOCVD專用)不僅能夠提供高純度、穩(wěn)定壓力的氫氣，還具有多項(xiàng)結(jié)構(gòu)優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用功能，是半導(dǎo)體制造過程中重要的設(shè)備。

大流量氫氣發(fā)生器可以連續(xù)可靠的產(chǎn)生純度很高的氫氣，純度99.999%。從而使昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶告別實(shí)驗(yàn)室，因更換鋼瓶而中斷重要分析工作的情況將不復(fù)存在。